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CZ晶體生長爐

產品詳情

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CZ晶體生長爐

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技術參數

產品簡介:

直拉法晶體生長爐,可針對于高純度活潑材料的晶體生長實驗探索,也可以適用于晶體材料的生產;此款晶體生長爐可以提拉各種氧化物單晶和金屬單晶,如藍寶石、 GGG, YAG, LaAlO3 , Si 和 Ge 等,最高溫度可達 2100℃ (石墨坩堝)。此系統采用組成:高頻感應加熱電源,高真空腔體,石墨坩堝、或者氮化硼坩堝、精密提拉機構和坩堝旋轉機構。

 

二、主要技術參數

 

作電源

AC 380V,三相,20KW

感應射頻

30-80KHz

最高熔煉溫

1650℃

 

 

真空系統(選配)

配置一:10-2torr (機械泵)

1.型號:VRD-24

2.抽氣口接口尺寸:KF25

3.抽氣速率:(24m3/h) 6.6L/S

4.電機功率:750W

5.極限壓強 4×10-2Pa

配置二:10-5torr  (機械泵+分子泵)

1.抽氣速率:620L/s

2.極限壓強:6×10-5Pa

3.啟動時間:≤8min

4.額定轉速:27000rpm/min

5.冷卻方式:水冷

6.抽氣口接口尺寸:LF160

 

 

 

 

 

空腔室

 

 

1.采用 SS304 不銹鋼腔體雙層水冷腔體,確保設備工作室表面溫度 70℃,

2.體尺寸:  φ400*400mm臥式結構

3.腔門上有一個50*150mm 的方形觀察窗口,方便晶體生長過程中實 時觀察樣品的熔化和生長情況;

4.腔體上部安裝了一個量程為-0.1-0.15MPa 的機械壓力表用于室內壓力情況

5.一個 φ6 雙卡套接頭做為出氣口,并通過一個不銹鋼針閥控制氣的通斷

6.電磁閥可自動控制進氣

7.安裝了一個安全壓閥,當腔室中壓力大于一定值時將自動泄壓, 保腔體的安全

 

提拉機構

1.提拉采用伺服電機驅動,旋轉采用直流電機驅動

2.提拉速度:0.01-30mm/h

3.晶桿旋轉速度:0.1-60 rpm

4.最大提拉行程:200mm

5.位移精度:0.01mm

6.提拉分為快速和慢速

坩堝旋轉機構

1.直流電機驅動

2.旋轉速度:1-30 rpm

 

控制系統

1.整個電路控制系統在觸摸屏上面實現操作控制,采用控制軟件進行控制,可以實現以下功能:

2.生長斜率及控制參數設定;

3.控制晶升,動態可調

4.控制晶轉,可設定多段速自動執行

5.腔體真空壓力檢測

6.報警監測,晶升晶轉中頻氣壓等上限報警

7.實時數據曲線

8.數據記錄, 自動存儲運行數據

 

水冷系統(選配)

1.工作電流:2.1-12.9A

2.制冷量:49474Btu/h

3.最大流量:117L/min

4.水箱容量:75L

坩堝系統(選配)

1.可選石墨坩堝或者氮化硼坩堝和相應的保溫材料組件

此單晶爐的坩堝尺寸分為D50*H50mm和D80*H80mm

變壓器(選配)

可根據客戶所在地的電壓選配變壓器,如480V變380V,415V變380V等

產品尺寸(參考)

1.設備主機:~1480mm(L)  x 1150mm(W) x 2450mm(H)

2.冷水機:~800mm(L)  x 800mm(W) x 1200mm(H)

3.變壓器:~1050(L)  x 800mm(W) x 1200mm(H)

關鍵詞:
晶體生長爐
藍寶石
GGG
YAG
LaAlO3
2100℃晶體生長爐
直拉法晶體生長爐
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